ACE i300
性能良好，多項關鍵工藝指標達到領域先進水平。ACE i300依托北方華創多年的刻蝕經驗積累，采用高密度、低損傷等離子源設計，同時配備北方華創成熟的遠程ICP（電感耦合等離子體源）技術，達到高水平的去膠速率，并實現去膠損傷抑制；采用獨立腔室結構設計，實現均勻的流場分布，去膠均勻性表現良好；腔室壁配備獨立控溫系統，實現良好的顆粒控制水平。
以市場為導向，為客戶創造更大價值。ACE i300可配置大氣、真空兩種傳輸平臺，滿足客戶不同工藝需求；同時，搭配雙腔(twin-chamber)設計，產能表現優秀；機臺維護便捷，關鍵耗材使用壽命長，滿足客戶低成本運維需求。
作為國產刻蝕設備的開拓者及引航者，北方華創將始終以科技創新為驅動，不斷開拓刻蝕領域全新應用，助力更多客戶實現更大價值，推動產業進步，創造無限可能！
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