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凈化單元
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凈化柱
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功能：氣體密封，除水、除氧
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容器材料：304不銹鋼
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凈化材料：銅觸媒5kg、分子篩5kg
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凈化能力：除氧60L、除水2kg
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水氧指標：＜1ppm
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循環系統
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工作氣體：氮氣、氬氣、氦氣
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循環能力：集成風機流量90m3/h（可提供更大風機流量145m3/h、180m3/h）
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再生
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操作：PLC自動控制再生過程
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再生氣體：工作氣體與氫氣混合氣體（氫氣5%- 10%）
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真空泵
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規格：8m3/h或12m3/h
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旋片泵：帶油霧過濾器，氣振控制
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閥門
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主閥：DN40KF，電氣動角閥
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控制閥：電磁集成閥
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過渡倉
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大過渡倉
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倉體
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尺寸：直徑360mm，長度600mm（可選直徑400mm）
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材料：304不銹鋼
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表面：內表面為油膜拉絲面，外表面為噴漆或鏡面
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附件
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托盤：滑動托盤
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倉門：雙門，陽極氧化鋁材料，厚度10mm豎直操作，帶提升結構
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壓力表：模擬顯示
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控制
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操作：自動控制
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小過渡倉
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倉體
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尺寸：直徑150mm，長度300mm（可選直徑100mm）
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材料：304不銹鋼
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表面：內表面為油膜拉絲面，外表面為噴漆或鏡面
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附件
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倉門：雙門
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壓力表：模擬顯示
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控制
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操作：手動操作
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控制系統
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描述
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顯示：西門子PLC觸摸屏
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功能：包括自診斷、斷電自啟動特性，具有壓力控制和自適應功能，自動控制、循環控制、密碼保護
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壓力控制：控制箱體、過渡艙的壓力，箱體工作壓力+/- 10mbar內可以自由設定，超出+/- 12mbar系統自動保護
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腳踏開關：箱內氣壓可通過腳踏開關調整
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數據備忘錄：自動記錄系統數據
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配件
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真空泵
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氧分析儀
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測量范圍： 0～1000ppm
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露點分析儀
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測量范圍：0～500ppm
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