在生產工藝中使用工藝氣體時，可能會在生產過程中產生煙氣和泄露。這使得在生產過程和工藝技術中趨向于使用帶氣體的閉環系統。設備節省的費用可在短期內收回設備投資成本。
如：
★惰性氣體，例如氙氣、氬氣或氦氣；
★電力系統SF6（六氟化硫）氣體；
★大型壓縮系統天然氣的泄漏；
★惰性氣體加工提純氮氣；
★從超臨界CO2工藝中提取二氧化碳
★在加工過程中累積的泄漏氣體，例如CO一氧化碳
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