HSE D300 等離子體切割刻蝕機

HSE D300 Plasma Dicing Etcher

HSE D300為高密度等離子體刻蝕機,適用于6/8/12英寸硅等離子切割工藝。具備高刻蝕速率、高刻蝕均一性和角度控制能力、低顆粒控制等性能優勢。該設備易維護、性能穩定、客戶擁有成本低,現已廣泛應用于先進封裝領域的等離子切割工藝。

設備特點

產品應用


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