Bpure Series 立式/臥式管舟清洗機
Bpure Series Vertical/Horizo ntal Tube/Boat Cleaning System
Bpure系列立式/臥式管舟清洗機廣泛應用于集成電路、封裝、光伏等領域。采用浸泡式處理工藝，主要用于12英寸及以下尺寸的擴散、外延等設備的石英管/舟、碳化硅管的清洗。此外，也可以用于清洗其它石英材質的零部件，如石英板、點火炮、保溫桶等。
設備特點
- 全自動清洗，浸泡式清洗與噴淋式清洗工藝可選
- 一機多用，可兼容石英管/舟/工件清洗
- 自主研發控制系統，友好的人機交互界面
- 自動配液系統，換酸便捷
- 分級安全互鎖設置，確保設備安全可靠
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晶圓尺寸
8、12 英寸
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適用材料
石英、碳化硅
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適用工藝
石英管/ 舟、石英板、點火炮、基座等零部件浸泡式清洗
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適用領域
集成電路、功率半導體、化合物半導體、科研領域