在石油化工企業的的生產過程中排出的有害廢氣含有污染物種類，毒性也不盡相同，嚴重污染環境和影響人體健康。石油化工廢氣可分為顆粒污染物和氣態污染物。對于石油化工廢氣的特點和化工廢氣總結了以下的幾種廢氣處理設備工藝：
1、有機廢氣處理洗滌塔；采用PP、FRP、玻璃鋼等材質，便于現場安裝及操作管理，占地面積小。采用前置生物酶噴淋洗滌塔預處理，后段加裝納米光觸媒(催化)氧化過濾系統，此方案不僅處理效率高，能有效去除粉塵、漆物及苯、甲苯、二甲苯、丁酮、醛、添加劑等污染物，各處理后即可達標排放，廢氣處理設備風阻小，運行維護費用低，是非常先進的優越的廢氣處理方案。對化工廢氣的治理來講，這種工藝技術比較成熟，光氧廢氣處理設備，目前使用率也很高。廢氣凈化效率均可達85%~95%。
2.高活化生物廢氣凈化塔；采用國際先進廢氣凈化技術開發的高科技專利產品，設備使用不同配方的高活化植物提取液，通過植物液氣相反應法去除廢氣成分、異味，減少油煙、粉塵。產品具有凈化效率高、能耗低、安全性高、適用面廣、無二次污染等特點。
3.特效光波催化氧化凈化設備；設備能有效地降解空氣中有毒有害氣體，能有效殺滅多種細菌，并能將細菌或真菌釋放出的毒素分解及無害化處理，廢氣處理設備價格，同時它還具備除臭、抗污等功能。廢氣利用排風設備輸入到本凈化設備后，先經過過濾網去除大分子和顆粒，其次凈化設備運用特制高能光波及臭氧對工業廢氣進行協同分解氧化反應，利用高能光波裂解惡臭氣體中細菌的分子鍵，破壞細菌的核酸，再通過臭氧進行氧化反應，徹底達到脫臭及殺滅細菌的目的。
4.LCO化工廢氣光催化凈化設備；適合在常溫下將廢臭氣體完全氧化成無毒無害的物質，適合處理高濃度、氣量大、穩定性強的有毒有害氣體。光催化氧化是在外界可見光的作用下發生催化作用，光催化氧化反應是以半導體及空氣為催化劑，以光為能量，將有機物降解為CO2和H2O。具有除臭、消毒、殺菌的功效，由于在光催化氧化反應過程中無任何添加劑，所以不會產生二次污染。
5.低溫等離子廢氣凈化技術；是電子、化學、催化等綜合作用下的電化學過程，依靠等離子體在瞬間產生的強大電場能量電離、裂解有害氣體的化學鍵能，從而破壞廢氣分子結構，優質廢氣處理設備，達到凈化目的。具有強力殺滅空氣中細菌、病毒等各種微生物能力，而且具有明顯的防霉作用。低耗節能、運行費用低廉、長期運行穩定可靠。